HIGH-PERFORMANCE Sensorsysteme für neue Einsatzgebiete

Micro-Hybrid ist starker Bündnispartner im Thüringer Wachstumskern HIPS

Für die Entwicklung neuartiger und hochintegrierter Sensoren setzt das Thüringer Bündnis aus Forschungseinrichtungen und hochspezialisierten Unternehmen auf die zukunftsweisende Verbindung von Siliziumtechnologie und keramischer Mehrlagentechnik.

Im Technologie-Dreieck Jena/Hermsdorf, Ilmenau, Erfurt braut sich etwas zusammen. Der Wachstumskern HIPS vernetzt innovative Unternehmen auf dem Gebiet der Sensorentwicklung und formt ein unternehmerisches, gemeinsam agierendes Bündnis. Entwickler aus Forschung und Industrie arbeiten in mehreren Verbundprojekten an der Entwicklung und Vermarktung neuartiger, robuster und hochintegrierter Sensoren auf Basis einer einzigartigen Verbindung der Siliziumtechnologie (Si) und keramischer Mehrlagentechnik (Cer). Durch die Verknüpfung der Vorteile und des Know-Hows aus beiden Welten entsteht eine neue und außergewöhnliche Technologieplattform für eine Vielzahl unterschiedlicher Sensoren.

Micro-Hybrid ist dabei an zwei der drei Verbundprojekte beteiligt.

Übersicht der drei Verbundprojekte mit jeweiligen Themenschwerpunkten

Im Rahmen des Verbundprojektes „Erforschung einer multifunktionellen Substrattechnologie für Sensoren höchster Leistung“ wird eine Plattform für hochintegrierte Elektroniksysteme mit erweiterter Sensorfunktionalität erforscht. Ziel des Projektes ist es, die LTCC und Si-MEMS-Technologie monolithisch zu verbinden, um dem Trend zunehmender Miniaturisierung nachzukommen. Neben den elektrischen Funktionen sollen auch thermische, fluidische und erweiterte kapazitive oder induktive Zusatzeigenschaften integriert werden. Nicht zuletzt kann ein solches System die Zuverlässigkeit der Komponenten verbessern und neue, bisher nicht praktikable Mikrosystemlösungen ermöglichen.

Im Verbundprojekt 3 liegt der Fokus auf den „Gas-Sensoren auf Basis der SiCer-Verbundsubstrat-Technologie“. Die Micro-Hybrid Electronic GmbH wird die Entwicklung und Bewertung der unmittelbaren SiCer-Komponenten verfolgen. Diese bestehen aus IR-Emittern, IR-Detektoren und den SiCer-Sensoren für Druck und Temperatur.

Dr. Knuth Baumgärtel, Sprecher des Wachstumskerns und Managing Director der Micro-Hybrid Electronic GmbH fasst den Mehrwert des Projektes zusammen: „Die SiCer-Technologie ermöglicht, wenn sie durch HIPS zur Anwendungsreife gebracht wird, hybride Mikrosysteme auf der Basis von Silizium und Keramik mit einem völlig neuen funktionalen Integrationsniveau zu bauen. Für Micro-Hybrid ist neben dem innovativen Aspekt neue Produkte für neue Märkte ableiten zu können, vor allem das Netzwerken und die Zusammenarbeit mit den besten regionalen Instituten und Unternehmen von herausragender Bedeutung“

Micro-Hybrid arbeitet kontinuierlich an der Entwicklung und Optimierung ihrer Produkte und Prozesse durch die Kooperation mit anderen Unternehmen, Forschungseinrichtungen und öffentlich geförderten Verbundprojekten. Ansprechpartner bei Anfragen zu Beteiligungen der Micro-Hybrid ist Entwicklungsleiter Steffen Biermann.